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Aerotech präsentiert zwei neue Produkte: Die neue ABRX-Baureihe für hochpräzise Oberflächenvermessungen im Nanometerbereich sowie das 3D-Strahlablenksystem AGV3D zur Lasermikrobearbeitung.

Quelle: Aerotech

Exakt positioniert

Aerotech, Hersteller leistungsstarker Motion-Control- und Positioniersysteme, unterstützt Anwender unterschiedlichster Branchen, die ein Höchstmaß an Präzision benötigen,mit den neuentwickelten, luftgelagerten ABRX-Rotationsachsen (Air-Bearing Stages).
Bei der neuen Baureihe handelt es sich um Drehtische, die direkt betrieben werden und dadurch Rotationsgeschwindigkeiten von bis zu 300 rpm erreichen können. Eine weitere Besonderheit sind die Luftlager zur Minimierung von radialen und axialen Fehlern, die in einem Bereich von weniger als 25 nm liegen.

Unterscheidung der Fehler

Die Fehler lassen sich dabei in synchrone und asynchrone Fehler unterscheiden: Synchron sind die Fehler, die periodisch mit der Achsdrehung auftreten. Hier haben Anwender die Möglichkeit, die Abweichung zu vermessen, abzuspeichern und dann über eine Z-Achse in axialer Richtung oder X-Achse in radialer Richtung zu kompensieren bzw. die Messwerte entsprechend zu korrigieren.

Die ABRX-Rotationsachsen stehen in verschiedenen Durchmessern zur Verfügung. (Bild: Aerotech)

Asynchrone Fehler sind hingegen mehr als Positionsrauschen zu betrachten und lassen sich nicht ohne weiteres kompensieren. Durch die Kompensation der Synchronfehler kann man die radialen und axialen Fehler allerdings deutlich unter 10 nm herabsenken. So eignet sich die ABRX-Baureihe besonders für Oberflächenvermessungen im Nanometerbereich und natürlich auch als Erweiterung für die bewährte Aerotech-SMP-Messplattform.

Um maximale Nutzlast- und Formfaktoranforderungen für den Einsatz als einachsiger Positionierer, als Teil eines integrierten Systems oder auch einer integrierten Maschine zu erfüllen, stehen verschiedene ABRX-Rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250 mm zur Verfügung. Somit eignen sie sich besonders für maximale Anforderungen in den Bereichen Wafer-Inspektion, Hochpräzisions-Messtechnik, optische Inspektion und Fertigung sowie MEMS/Nanotechnologie-Geräteherstellung.

AGV3D – mehr Präzision bei der 3D-Lasermikrobearbeitung

Der AGV3D ist ein neues 3D-Strahlablenksystem zur Lasermikrobearbeitung. Der thermisch stabile 3-Achs-Laserscanner eignet sich für die hochpräzise Fertigung komplexer Bauteile in der Medizintechnik, der Mikroelektronik und Automobilindustrie, auch in der additiven Fertigung. Hierbei vereinfachen bedienerfreundliche Funktionen die Integration in eine Maschine, ein System oder ein Subsystem.

Der AGV3D ist ein neues 3D-Strahlablenksystem zur Lasermikrobearbeitung. (Bild: Aerotech)


Die AGV3D-Laserscanner mit einem DFM (DFM = Dynamic Focusing Module), der auf einer linearen Fokussierachse mit leistungsstarkem Direktantrieb basiert, ermöglicht eine überlegene dynamische Leistung bei gleichmäßiger Bewegung sowie eine hochauflösende Positionsrückmeldung für eine exakte und wiederholbare Fokussierung. Durch integrierte Wasser- und Luftkühlungen erreicht der neue Scanner eine maximale thermische Stabilität. Temperaturgradienten innerhalb des AGV3D werden vermieden und damit Fehler durch thermischen Drift reduziert. Das führt zu konstanten Leistungen über die gesamte Bearbeitungszeit hinweg bei einer gleichbleibend hochverfügbaren Laserbearbeitungsgenauigkeit.

Wählbare Konfigurationseinstellungen

Der AGV3D verfügt über zwei einfache, vom Anwender wählbare Konfigurationseinstellungen, die Sichtfelder von 100 x 100 mm bis 1000 x 1000 mm und mehr abdecken. Durch das große Sichtfeld des AGV3D lassen sich auch kleinere, effizientere Bewegungsmechaniken zur Positionierung des Werkstücks verwenden. Abhängig von den jeweiligen Prozessanforderungen ist der 3-Achs-Scanner mit verschiedenen Aperturen für unterschiedliche Strahldurchmesser erhältlich. Auf Wunsch liefert Aerotech den AGV3D auch als vollständig konfiguriertes Scansystem inklusive Flachfeldoptik aus. Besonders relevant wird der Einsatz des AGV3Ds bei Anwendungen, in denen Teile mit Höhen- oder Dickenschwankungen verarbeitet werden, oder auch bei mehrschichtigen, additiven Verfahren.

Mehr Informationen finden Sie hier.

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