Infrarotkamera mit hoher Auflösung bei Chip-Level-Strukturen

Infrarotkamera mit neuer Mikroskop-Optik Hohe Auflösung selbst bei Chip-Level-Strukturen

08.04.2024 Quelle: Pressemitteilung 1 min Lesedauer

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Elektronikbaugruppen bestehen aus immer kleineren Strukturen und sind sehr kompakt aufgebaut. Um Temperaturen auch bei Chip-Level-Strukturen exakt und geometrisch hoch aufgelöst zu messen, bringt Optris jetzt für die Infrarotkamera PI 640i eine neue Mikroskop-Optik auf den Markt.

Die neue Mikroskop-Optik MO2X für die Infrarotkamera PI 640i kann Temperaturen bei komplexen Halbleiter-bauteilen im Mikrometer-Bereich messen.(Bild: Optris) — Die neue Mikroskop-Optik MO2X für die Infrarotkamera PI 640i kann Temperaturen bei komplexen Halbleiter-bauteilen im Mikrometer-Bereich messen.
(Bild: Optris)

Hohe Temperaturen haben einen negativen Einfluss auf die Lebensdauer von Elektronikkomponenten und Baugruppen. Hintergrund ist die beschleunigte Alterung vieler Halbleitermaterialien bei erhöhten Temperaturen. Diese können beispielsweise an einer schlechten elektrischen Verbindung durch den erhöhten Übergangswiderstand entstehen. Aber auch innerhalb von komplexen Halbleiterbauteilen wie Prozessoren kann es zu erhöhten Temperaturen kommen.

Temperaturmessungen mit Auflösung im Mikrometer-Bereich

Mit der neuen Mikroskop-Optik MO2X mit 2-fach Vergrößerung ist die Infrarotkamera vom Typ PI 640i von Optris jetzt in der Lage, Infrarotbilder auch von komplexen Strukturen aufzunehmen. Die geometrische Auflösung beträgt mit der neuen Optik nur acht Mikrometer. Für eine exakte Temperaturmessung werden 4x4 Pixel benötigt (MFOV), sodass man jetzt Objekte mit einer Größe von nur 34 Mikrometern messen kann. Damit können auch winzige Strukturen auf Chip-Level analysiert werden. Die thermische Auflösung erreicht mit 80 Millikelvin bei dieser Optik einen sehr guten Wert. Der Fokus der neuen Optik ermöglicht das Arbeiten in einer Distanz von 15 Millimetern zum messenden Objekt.

Altair SimSolid hat die konventionelle Berechnung und Simulation sehr verbessert, da es in der Lage ist, komplexe strukturelle Probleme in kürzester Zeit genau vorherzusagen und aufwendige, mühsame, stundenlange Modellierung vermeidet. (Bild: Altair)

Da die Optiken an Infrarotkameras der PI-Serie einfach getauscht werden können, ist das System flexibel für verschiedene Messaufgaben einsetzbar. Zusammen mit dem mitgelieferten Mikroskop-Ständer mit Feinjustierung lassen sich so mikroelektronische Baugruppen sehr einfach untersuchen. Die maximale Auflösung der Infrarotkamera beträgt 640 x 480 Pixel bei einer Framerate von 32 Hertz, und selbst wenn diese 125 Hertz beträgt, kann die PI 640i mit 640 x 120 Pixeln überzeugen. Im Lieferumfang enthalten ist die lizenzfreie Analysesoftware PIX Connect, alternativ steht auch ein komplettes SDK zur Verfügung.

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Stand: 16.12.2025

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