Hochauflösendes Positioniersystem für Schrittweiten im Nanometerbereich

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Hochauflösendes Positioniersystem für Schrittweiten im Nanometerbereich

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Mit dem neuen Lineartisch N-664 ist es Physik Instrumente (PI) gelungen, ein weiteres wegweisendes Piezopositioniersystem der Referenzklasse zu entwickeln.


Im N-664 ersetzt ein NEXACT Piezolinearantrieb die üblichen Schritt- oder DC-Servomotoren, wodurch eine Positions-auflösung von weit unter einem Nanometer möglich ist. Darauf abgestimmt ist der neuartige optische Linearencoder PIOne mit einer Auflösung von 0,5 nm, wodurch wiederholbar inkrementelle Bewegungen von 2 nm erzielt werden. Der N-664 ist mit präzisen, belastbaren Kreuzrollenlager aus Edelstahl ausgestattet.


Sie geben dem Mikrolineartisch die nötige Belastbarkeit und Führungsgenauigkeit für einen dynamischen Betrieb mit Höchstgeschwindigkeiten von 10 mm/s. Der Linearencoder PIOne arbeitet nach einem interferometrischen Messprinzip und kann so trotz hoher Geschwindigkeiten sehr präzise Messergebnisse im Sub-Nanometerbereich liefern. Der NEXACT Antrieb ist als direkter Linearantrieb frei von Präzisionsverlusten und kann die Position im ausgeschalteten Zustand stabil halten. Der Antrieb muss dann nicht bestromt werden und erwärmt sich nicht.

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